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商品略号 |
HMDS |
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化学式 |
ヘキサメチルジシラザン |
示性式 |
C6H19NSi2 |
分子量 |
161.39 |
規格 |
一般・工業用 |
CAS.No. |
999-97-3 |
MITI.No. |
(2)-2044 |
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物理的状態 |
形状 |
液体 |
色 |
無色透明 |
臭い |
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物性 |
沸点 |
122〜127℃ |
融点 |
-70℃ |
引火点 |
-2℃（タグ密閉式） |
比重 |
0.774（25℃） |
適用法令 |
毒物及び劇物取締法 |
該当物質ではない |
水質汚濁防止法 |
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消防法 |
危険物第4類第1石油類（非水溶性液体） |
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生産規模 |
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用途 |
シリコンウェハー半導体表面処理剤、シリル化剤 |
特長 |
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包装 |
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： |
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